Characterization of Silicon and Strain-Gauge Pressure Sensors for In-Situ Pressure Measurement in Cryogenic Environments
西尾 樹, 藤原 裕也, 森平 淳志 (アルバック),
Abstract:極低温機器の評価として特に高い応答性が必要となる場合、“その場測定”が有効である。その際、極低温対応・温度特性・精度・サイズなど適した圧力計の選定が重要となる。本研究では極低温環境における“その場測定”を実現する圧力計としてシリコン圧力センサー(?フジクラ)とひずみゲージ圧力センサー（?共和電業）を選定し、評価を実施した。シリコン圧力センサーは小型であり、極低温に至るまで温度ドリフトが極めて小さい。ひずみゲージ圧力センサーは高耐圧(最大50 MPa)であることがメリットである。一方で60 K以下となると非線形な挙動を示すが、低温校正を実施することでさらに低い温度(3 K以下)でも使用可能である。