磁気顕微法によるTLAGコンビナトリアルREBCO薄膜の局所電流密度特性評価とその統計解析

Statistical Analysis of Local Current Density Characteristics in TLAG Combinatorial REBCO Thin Films using Magnetic Microscopy


呉 澤宇, 塩谷 駿, 東川 甲平 (九大), QUERALTÓ Albert, GHIARA Emma, POP Cornelia, GUPTA Kapil, OBRADORS Xavier, PUIG Teresa (ICMAB), 木須 隆暢 (九大)


Abstract:TLAG-CSDは、液相を介して高速な成膜レートを実現できるが、薄膜の特性には組成や合成条件など多くのパラメーターが影響を与えるため、それらの最適化が喫緊の課題となっている。電流特性については、試料全体の平均的な特性しか評価できず、迅速なフィードバックに限界がある。本研究では、磁気顕微鏡を用いた2次元的なJc分布のハイスループット計測を用いて、コンビナトリアル・プロセスREBCO薄膜と二次元的な構造・組成解析技術と組み合わせることで、REBCO薄膜試料の組成と結晶構造、プロセス条件とJcの関係について実験的に調べると共に、それらの関係を複合的に調べる方法論について考察した。