Construction of a Composition-Dependent Process Map and Evaluation of Growth Stability for High-Rate Deposition of BaHfO3-Doped YBa2Cu3Oy Thin Films
伊藤 駿汰, 遠藤 啓太 (名大), 一瀬 中 (電中研), 堀出 朋哉, 吉田 隆 (名大)
Abstract:REBa2Cu3Oy(REBCO)線材の低コスト化には高スループットな成膜が不可欠であり、条件変動に対する特性の安定性の理解が重要である。本研究では、非化学量論組成ターゲットを用いたPLD法により、組成と基板温度を広範囲に変化させたBaHfO3(BHO)添加YBCO薄膜の成膜を行った。試料の作製にあたり、膜表面の析出物等の表面形態を指標に、データサイエンス手法を用いた成長プロセスマップ構築を試み効率的な探索法について検討を行った。その結果、組成が化学量論比から乖離しても高い臨界電流密度(Jc)を維持する領域を特定し、成膜条件に対する高い安定性が明らかとなった。