Room-temperature deposition of superconducting thin films on flexible substrates for low-temperature high frequency transmission lines
作間 啓太, 武藤 大樹, 關谷 尚人 (山梨大)
Abstract:超伝導量子コンピュータの入出力信号伝送には、高周波伝送線路が用いられている。量子ビット数の増加に伴い、この伝送線路の配線数が急増し、熱流入/実装スペースなどの問題が顕在化している。そこで、熱流入の抑制が可能な超伝導体と集積化が可能なマイクロストリップライン伝送線路を組み合わせた超伝導-マイクロストリップライン伝送線路の開発が期待されている。我々は超伝導体として化学的に安定なNbNが、伝送線路基板として低誘電損失でフレキシブル性を有するPTFEが適していると考えている。本講演では、低誘電損失フレキシブルPTFE基板上にNbN薄膜を室温で製膜する手法およびその薄膜を用いた伝送線路について検討した。