Compositional Optimization and Superconducting Properties Dependent on Target-Substrate Distance in High-Rate Deposited BaZrO3-Doped YBa2Cu3Oy Thin Films
遠藤 啓太, 伊藤 駿汰 (名大), 一瀬 中 (電力中央研究所), 堀出 朋哉, 吉田 隆 (名大)
Abstract:REBa2Cu3Oy線材の実用化には、高速成膜と優れた磁場中特性の両立が必須である。本研究では PLD 法におけるE_laserやd_t-sといった成膜パラメータが高速成膜時の特性低下につながる要因について検討した。E_laserの減少およびd_t-sの増加によってTcやJcの低下が見られ、特にd_t-sの増加に伴いBaやCuでの組成の乖離が確認された。これに対し、各d_t-sに応じたターゲット組成の最適化を行った結果、膜組成が化学量論比に近づき、d_t-s増加に伴うTcの低下が抑制された。このTc低下の抑制によって高いJcが維持され、d_t-s増加に伴う超伝導特性の低下を抑制することができた。