Development of a High-Performance Dilution Refregerator with 1500 microwatt Cooling Power at 100 mK
野末 竜弘, 安田 瑠奈, 木村 豊, 斎藤 政通, 大塚 洋一 (アルバック・クライオ); 西尾 樹, 藤原 裕也 (アルバック); 中川 久司 (産総研)
Abstract:アルバックグループと産総研 は、JSTムーンショット型研究開発事業目標６における研究開発プロジェクト「超伝導量子回路の集積化技術の開発」に参画し、商用機に比べ1.5倍の冷却能力を有する高性能希釈冷凍機システムの開発を推進した。
設計方針として、3He循環量の増大と熱交換効率の向上を掲げ、 分留室以下のコンデンスラインのコンダクタンスを最適化することで3He濃度を高く維持しながら循環量を増大することができた。加えて、ステップ熱交換器を改善することで、20 mKで45 ?W以上の冷却能力を達成した。
本講演では、この希釈冷凍機の詳細について報告し、とくに排気能力と冷却能力の関係について報告する。