CRYO CMOS集積回路評価用冷却試験装置の開発

Development of Cryogenic Cooling Test Systems for the Evaluation of CRYO-CMOS Integrated Circuits


小田 航大, 岡村 崇弘, 宮原 正也, 槇田 康博, 大畠 洋克 (KEK)


Abstract:誤り耐性型汎用量子コンピュータの実現を目指す研究開発プロジェクトとして、温度4Kの極低温環境下で動作する量子ビット読み出し用高速ADCの開発が進行している。
本研究において、低温環境下におけるCRYO CMOS集積回路の動作評価を行うための冷却試験装置を開発した。まずは、液体ヘリウムにより確実に4.2Kに冷却可能な浸漬冷却試験環境を構築した。また、実際の運用に向け、量子コンピューティングシステムを模擬した伝導冷却装置も開発した。
本発表では開発した冷却試験装置の構成と製作過程、冷却試験状況について報告する。