新奇プロセスによるF-フリーMOD膜の作製

New growth process for FF-MOD films


向田 昌志 (九大); 一瀬 中 (電中研); 中西 毅, 本田 元気, 永石 竜起 (住友電工)


Abstract:MOD法でのcoated conductor作製は、現在、TFA-MOD法が全盛である。
しかし、フッ素を用いないでcoated conductorが作製できれば、コストの削減効果が顕著となる。
今回、我々は、超電導層直下の材料を各種検討し、それに最適なプロセスを探索したので報告する。