シリコン圧力センサーFPS51の超流動Heでの特性とクエンチ圧力モニター

 国産のシリコン圧力センサーで、超流動ヘリウムでも使用できるものが新たに見つかった。このセンサーの低温(液体窒素、4Kヘリウム、超流動ヘリウム)における特性を調べた。また、このセンサーによりマグネットがクエンチを起こしたときの超流動槽の圧力をIn situでモニターした。