DCマグネトロンスパッタリング法で作製したBi2223及び後アニール処理した(Bi,Pb)2223薄膜

Bi2223 thin films prepared by DC magnetron sputtering and post-annealed (Bi,Pb)2223 thin films


和泉 竹衛, 土井 俊哉, 吉村 卓哉, 白樂 善則 (鹿児島大); 松本 明善, 北口 仁 (NIMS )


Abstract:Powder-in-tube法により線材が作製可能であることから、長尺のBi2223線材の開発は他の高温超伝導体に比べて進んでいる。しかしながら、Bi2223線材のJcは数万A/cm2程度と低い値に留まっており、真に実用線材となるためには更なる特性向上が求められている。我々はBi2223が持つ可能性を調べるため、良質な薄膜の作製に取り組んでいる。今回、DCマグネトロンスパッタリング法を用いてBi2223薄膜を作製したところ、70〜80K程度のTcしか得られなかった。そこで、Bi2223薄膜をBi+Pb+O2雰囲気中で熱処理することによって、結晶化度を向上させた(Bi,Pb)2223薄膜を作製したところ、Tc =105K, Jc (77K, 0T)=2×105A/cm2と大きな特性改善が見られた。